硅基材料制备技术国家工程研究中心于2008年11月28日发改办高技【2008】2645号文件批复建立，2012年8月10日验收通过，2021年7月纳入新序列。
工程研究中心以集成电路、新能源、高端陶瓷及光通信产业发展所需硅基材料为主要研究方向，致力于解决制约我国硅基材料研发的重大瓶颈技术问题，采用理论研究、模拟计算、实验论证、产业化验证等方法，重点围绕多晶硅衍生电子化学品制备、多晶硅高效气相沉积、多晶硅深加工、硅基电子功能材料制备、硅基新能源材料制备、超高纯产品后处理、高纯产品测试分析等开展核心工艺技术和关键装备的攻关研究，切实为实现硅基材料关键核心技术自主可控、提升产业链供应链现代化水平、推动高质量发展提供坚实技术保障。
工程中心以“打造硅基材料创新发展国家队”战略思想为指导，积极响应国家号召，组建先进硅基材料集群技术研究与应用创新团队，积极投身国家集成电路及新能源产业发展事业。目前工程中心共计252人，涵盖材料、化工、机械、装备、质量控制、分析测试、仪表自动化、数学建模等专业，其中包括国家专项津贴获得者3名，博士以上学历人员52名。形成了拥有自主知识产权的硅基材料集群制备技术，先后获得国家科技进步二等奖、国家发明专利金奖、河南省科技进步一等奖等40余项奖励，为推动中国硅基材料产业自主发展做出了卓越贡献。先后培养了“国家百千万人才突出贡献中青年专家”、“有色金属行业设计大师”、“中华杰出青年工程师”、“中原学者”、“河南省学术技术带头人”、“河南省科技创新杰出人才”等一批高层次人才，为持续创新提供了源动力。